鋨/等離子體鍍膜機

概述

鋨等離子體鍍膜機是一種利用直流等離子體放電的負輝光相區對樣品進行鍍膜的等離子體化學氣相沉積鍍膜機。主要用于掃描電鏡樣品上的導電薄膜涂層。

傳統的金屬鍍膜機，有各種各樣的所謂濺射鍍膜機，它們使用重金屬作為鍍膜材料，如金、鉑、鈀等，用這些方法，涂層本身的粒度問題是不可避免的。此外，如果在高倍鏡下進行檢測，用這些方法涂覆的試樣無法避免由于暴露于強電子束而引起的充電、熱損傷和污染，從而導致掃描電鏡圖像的分辨率較低。而鋨/等離子體鍍膜機則避免了這些劣勢，無粒度問題，無熱損傷和污染，高分辨率。

應用

1 鋨薄膜

?用于掃描電鏡樣品的導電薄膜

?防止掃描電鏡/透射電鏡樣品受到污染

?AFM樣品保護膜

?SPM試樣的導電保護膜

?SPM懸臂保護膜

2  等離子聚合膜（萘）

?光纖試樣保護膜

?防止嵌入樹脂的樣品剝落

?氟樹脂涂料（Os-PF混合涂料）

?TEM柵支撐膜

?透射電鏡超薄截面的防漂移

3 鋨超薄膜[可選]

?用FESEM觀察絕緣體的超微結構

?通過ESCA/AES對絕緣體頂面進行定量分析

?增強透射電鏡樣品的導電性

?AFM樣品的防靜電處理

?STM試樣的抗靜電處理

?蝕刻（僅混合氣體法）

4 親水處理[可選]

?氟樹脂表面鋨涂層的預親水處理等。

?防止嵌入樹脂的樣品剝落

?TEM支撐膜表面的親水化

?TEM網格的親水化

?超顯微切片機用金剛石刀的親水化

?改善潤濕性

5 深井電極[可選]

?樣品涂層高度

型號

OPC60A  鋨膜專用

涂層類型：Osmium

厚度：幾納米到幾百納米

OPC80T   鋨/等離子聚合膜

涂層類型：Osmium/PF（萘）

厚度：幾納米到幾百納米