概要
搭載采用了冷卻檢測方式的流量傳感器
特征
- 通過采用數字回路，實現了高精度?高速響應。
- 可以進行微升以上的微小流量控制。
- 可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
- 超潔凈類型
規格
名稱 | 質量流量計 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
型號 | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
全標度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
檢測控制范圍 | 5?99% F.S. | ||||
對象液體種類 *1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | ||||
液體粘度 *2 | 值. 0.1 Pa·s (100cp) | ||||
精度 *3 | ±1% F.S. | ||||
直線性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
重復性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
響應精度 | 3秒以內 (T98) | 2秒以內 (T98) | |||
使用環境溫度 *4 | 5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保) | ||||
溫度影響 Span | ±0.1%F.S./℃ 值±1% | ||||
工作差壓值值 *5 | 值. 5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo 控制閥) | ||||
耐壓 | 10MPa (視為流量計) | ||||
壓力損失 | 值. 500Pa | ||||
流量設定信號 | 模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數字式：RS485(F-Net通信協議) | ||||
流量輸出信號 | 模擬：0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數字式：RS485(F-Net通信協議) | ||||
驅動電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏規格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||
接液部材質 | SUS316L, Ni | ||||
標準接頭 | 1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 | 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 | 1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型 | ||
名稱 | 質量流量控制器 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
型號 | LV-F20 (PO/MO) | LV-F30 (PO/MO) | LV-F40 (PO/MO) | LV-F50 (PO/MO) | LV-F60 (PO/MO) |
全標度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
檢測控制范圍 | 5?99% F.S. | ||||
對象液體種類 *1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | ||||
液體粘度 *2 | 值. 0.01 Pa·s (10cp) | ||||
精度 *3 | ±1% F.S. | ||||
直線性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
重復性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
響應精度 | 3秒以內 (T98) | 2秒以內 (T98) | |||
使用環境溫度 *4 | 5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保) | ||||
溫度影響Span | ±0.1%F.S./℃ 值±1% | ||||
工作差壓值 *5 | 0.05?0.3MPa | ||||
耐壓 | 1MPa | ||||
壓力損失 | ー | ||||
流量設定信號 | 模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數字式：RS485(F-Net通信協議) | ||||
流量輸出信號 | 模擬：0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數字式：RS485(F-Net通信協議) | ||||
驅動電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏規格 | PO 類型：1×10-8Pa•m3/s (He) MO 類型： 5×10-12Pa•m3/s (He) | ||||
接液部材質 | PO 類型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA MO 類型： SUS316L，Ni | ||||
標準接頭 | 1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 | 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 | 1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型 | ||
*1： LF-F/LV-F系列質量流量控制器利用1種液體進行了流量校正 (請預先所使用 的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發生變化時，請預行咨詢協商。
?LV-F系列質量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時，請在一次端(入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2： LF-F類型質量流量控制器根據流量量程，可以適用到 值， 0.1Pa•s。有關高粘度的液體請預行咨詢協商。
*3： 以SEMI E56-1296 為準。
*4： 進行測量?控制的液體溫度如果低于環境溫度時，使用時請把溫差控制在10℃以 內；如果高于液體溫度時，使用時請把溫差控制在3℃以內。
*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。
