詳細信息

SOLLAS是WOP專門為硅基太陽能電池行業開發的激光加工機床，配置有飛秒紫外激光器和納秒紅外激光器，具有多任務操作功能，用于工業和研究，產能3MW/a。

 

光伏電池激光加工優勢：

·   晶圓更薄

·   破損率更低

·   精密深度控制

·   飛秒激光冷加工

·   參數調整，促進生產開發

·   選擇性刻蝕（根據不同材料控制能量傳遞）

 

產品特點：

·   工業研究生產線產量2.5 MW/a

·   飛秒紫外和納秒紅外激光源

·   機器視覺系統探測旋轉和調整激光掃描區域

·   使用高性能掃描振鏡精細激光束控制

·   5”和6”晶圓加工

·   生產模式下直觀的觸摸屏用戶使用界面（SCA工程設計）

·   研究模式下全功能軟件（SCA工程設計）

 

SOLLAS 執行4項工藝：

·   選擇性刻蝕SiNx/SiO2

·   后觸點激光燒制

·   邊緣絕緣處理

·   激光標刻

·   可行性測試后整合其他加工過程

 

1.     型太陽能電池激光刻槽機使用飛秒紫外激光光源對SiNx/SiO2選擇性刻蝕。這種超精確刻蝕SiNx層的工藝對Si層的影響（直接或熱效應）最小，不但延長了載流子壽命而且可以避免微裂紋。

2.     納秒紅外光纖激光器執行其他三個過程，在提高加工速度方面有巨大優勢。

3.     自動硅片傳送和掃描系統支持5″ 和6″直徑晶體硅硅片。

4.     綜合機器視覺系統和調整激光束掃描場的能力保證了高重復性和可靠性。

5.     系統配置一個一級激光安全罩和保證激光無塵工作環境的綜合除塵系統。

6.     使用擁有生產和研發模式的靈活的，友好的軟件ALTSE-SCA控制系統。 

 

應用舉例：

 

晶圓加工

 

 

使用UV飛秒激光脈沖刻蝕單晶圓上SiNx