MEMS多維度微動平臺是利用MEMS執(zhí)行器驅(qū)動平臺以及所載物體在多個維度上實現(xiàn)移動。伴隨各類系統(tǒng)不斷集成化,小型化的,以及精度,可靠性等性能要求的不斷提高,MEMS微動平臺以其體積小,精度高,功耗低,速度快等優(yōu)勢在各個領(lǐng)域中有著極為廣闊的應(yīng)用場景。所涉及領(lǐng)域覆蓋光學(xué)成像,光學(xué)通訊,生物檢測等,并可在無人機,視頻監(jiān)控,虛擬現(xiàn)實,增強現(xiàn)實,基因工程,5G,智能穿戴等一系列應(yīng)用中起到關(guān)鍵作用。
微奧微動平臺可以實現(xiàn)5維驅(qū)動(面內(nèi)二維+面外三維),結(jié)合電熱與靜電兩種驅(qū)動方式,可根據(jù)具體應(yīng)用需求搭配不同執(zhí)行器,可實現(xiàn)高精度(納米級),大位移(毫米級),低功耗,高填充率,小尺寸,高速多維微動平臺。