性能/參數 | LKD13系列質量流量控制器 |
流量范圍 | 0.5SCCM-1000SLPM 可自行修改流量單位如kg/h、g/min等 |
標定氣體 | 內置90條氣體可選擇 |
精度(調零后) | ±(0.8%Rd+0.2%FS) |
高精度(調零后) | ±(0.4%Rd+0.2%FS)限于5SCCM-500SLPM |
重復性 | ±0.2%FS |
漂移(零點/滿量程) | 0.02% F.S/oC/Atm |
工作范圍 | 0.5-99% |
響應時間 | 100毫秒(調整) |
啟動預熱時間 | 1秒內 |
標準工況 | 25oC & 14.696 psia，可自定義修改 |
工作溫度范圍 | -10~-50℃(另有高溫訂制品) |
工作濕度范圍 | 0-99%RH(非冷凝) |
工作壓力 | 3Bar |
安裝方向 | 任意 |
閥門狀態 | 常閉 |
材質 | SUS302/303/304不銹鋼、密封圈VITON |
顯示屏 | 背光LCD顯示屏，同時顯示流量、壓力、溫度 |
數字信號 | 標準RS232 選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太網RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
模擬信號 | 標準0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA |
第二路模擬信號 | 標準0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA |
電氣接口 | 標準圓形8芯 選配:圓形6芯、DB9、DB15 |
供電電壓 | +24VDC |
消耗電流 | 2SLPM以內：250mA 5SLPM以上：750mA 注：1000SLPM消耗2000mA電流 |
針腳/顏色 | 定義 |
1針(黑色) | 4-20MA輸出信號，如選擇0-5V/10V 連接6針 |
2針(棕色) | 不用連接如選第二路 輸出信號可接 |
3針(紅色) | RS232 輸入串口RS232 輸入串口 |
4針(橘色) | 模擬設定信號(訂貨時確認信號類型) |
5針(黃色) | RS232 輸出串口 |
6針(綠色) | 0-5V或0-10V輸出信號 |
7針(藍色) | +24VDC供電 |
8針(紫色) | 接地(同時作用于電源、通訊、模擬) |
備注：以上是標配圓新8芯接線注解，其他接口
流量 | 壓損(PSID)排放大氣中 | 接口 |
0.5-2SCCM | 0.06 |
1/8NPT母螺紋 |
5-10SCCM | 0.08 | |
20SCCM | 0.07 | |
50-200SCCM | 0.07 | |
500SCCM | 0.08 | |
1SLPM | 0.10 | |
2SLPM | 0.18 | |
5SLPM | 0.10 |
1/4NPT母螺紋 |
10SLPM | 0.12 | |
20SLPM | 0.26 | |
40SLPM | 0.14 | 1/2NPT母螺紋 |
50SLPM | 0.17 |
3/4NPT母螺紋 |
100SLPM | 0.30 | |
250SLPM | 0.69 | |
500SLPM | 0.69 | |
1000SLPM | 1.65 | 2”NPT母螺紋 |
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干凈《不能進水/油、雜質粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：在使用質量流量控制器的時候，進口前方加“ON/OFF電磁閥或手動切斷閥”。
四：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
五：通氣體時，請先開氣源，后設定值。
六：切勿在沒有通氣的情況下，對流量控制器進行設定。
七：使用完以后，請將流量控制器值歸零或斷電。
八：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下、設定值是0的狀態 再操作。
九：低壓損系列，進口壓力3Bar
