氣體質量流量控制器/流量計SENSUN：熱式氣體質量流量控制器在各種等離子設備中廣泛使用，松盛測控生產和銷售的熱式氣體質量流量計的主要作用是準確的控制和調節氣體的進氣流量，等離子設備中需要注入和填充的混合氣體，以保證更好的產品性能，就需要更高精度和穩定性好的流量控制器。
氣體質量流量控制器/流量計SENSUN：熱式氣體質量流量控制器和流量計的優點很多，舉幾個常接觸到的例子：1.對于大多數的流量測控系統和普通流量計而言，壓力、環境、溫度的波動以及介質的變化將導致較大的誤差；而對于質量流量控制器/質量流量計，則一般可以忽略不計。2.熱式氣體質量流量控制器可以對于不同介質精確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量比例控制等特別有用。3.質量流量控制器和質量流量計也有很寬的工作壓力范圍。
推出的流量控制器和流量計可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質，如常規氣體氫氣、氧氣氮氣等，稀有氣體氦氣、氬氣等，也包括一些腐蝕性氣體等；有很寬的流量范圍，我們的產品最小流量范圍可達0～5 sccm，流量范圍可達1500 slm。流量精度可達滿量程的±1.0%, 流量控制范圍是滿量程的2~ (量程比為-- 50:1), 因此在很多領域得到廣泛應用。
