智能動態配氣系統SSGM-3:由3個高壓流量控制器,適用惰性氣體以及腐蝕性氣體(可選全金屬密封);流量范圍0~500毫升每分鐘;耐壓程度:5MPa(可選10Mpa);精度等級:±1%F.S;可用于氮氣、氦氣、氬氣等惰性氣體,也可用于甲烷、烴類等可燃氣體;設備里面采用高效混氣罐,混氣濃度均勻、平穩、高效、快速、精確地混合配比多種氣體;各路MFC控制重復性精度高達±0.5%F.S;稀釋比范圍寬,從PPB級別到PPM級別到%。
智能動態配氣系統SSGM-3:氣體混合配比不限氣體種類和數量,內置精密閥門,能有效過濾氣體中的雜質以及防止氣體相互干擾,且可根據氣體的入口壓力來調整后端的氣體背壓情況。SSGM系列的動態配氣裝置穩定性好,不受溫度和壓力的影響,本裝置配氣穩定性好,精確度高,配制值與實測值相符。SSGM系列的動態配氣裝置采用智能控制系統,可通過軟件進行配氣濃度和氣體選擇,預留物聯網模塊接口,可拓展聯網功能,提供USB接口,預留數據通訊信號,可與其他設備相連接