Tem-Tech Lab高精度壓力計于生產用氣體供給裝置高壓范圍
Tem-Tech Lab高精度壓力計
●隔膜材為耐腐蝕性高的哈氏合金C-22
●表壓、級聯壓均可制作
●減低了熱膨脹應變、提高了溫度安定性
●直線性為±0.3%FS的高精度
●內表面經EP處理為『超清潔」規格
●標準的傳輸信號為國際規格的2式4-20mA也可電壓輸出
●可制作顯示器一體型
●可在安裝現場做零調整
●沒有充填液的干性傳感器、安全度更高
●能對應35Mpa的高壓范圍
主要規格
用途 ：半導體生產氣體用（室內規格）
額 定 壓 力 0 (或-0.1) — 0.5、 1、 2、 3.5、 20、 25、 35 MPa 允 許 限 度 壓 力 20MPa 未滿額定壓力×2 倍、20MPa 以上額定壓力×1.5 倍 精 度 ±0.3％FS（含直線性?滯后?再生性） 輸 出 信 號 4—20mA 2-wire 1-5V 3-wire 駆 動 電 源 DC24V ±10％ 溫 度 補 償 範 囲 0—60℃ 動 作 溫 度 範 囲 0—80℃ 溫 度 特 性 ±0.05％FS／℃（溫度補償范圍內） 接 液 部 材 質 隔膜: 哈氏合金（C-22) 傳感器身 SUS316L 焊 接 方 法 特殊電子光束焊接泄 漏 量 <5×10-12Pam3／sec 內 面 清 潔 度 電解拋光處理 Ra: <0.25μm 以下、超清潔（UC）處理應 用 接 續 VCR、UJR （其他可相談） 接 頭 直 徑 1/4”、 3/8”、 1/2” （其他可相談） 信 號 連 接 螺絲式連接、直接電纜、卡口連接器（其他可相談） 附 屬 電 纜 3m 標準
