Micro 101 HP高壓氣體激光粒子計數器
高壓氣體激光粒子計數器
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粒子監測系統有限公司研制的Micro LPC-101 HP 粒子計數器以管線氣壓采集加壓惰性氣體樣本。本款粒子監測系統可將數據輸出至外接打印機或電腦。
好處
- 降低成本
- 制程氣體分配系統快速達標
- 監測氣體中的粒子變化,以防影響產量
- 系統配置兩套設備:采樣傳感器和數據系統
- 改善制程控制
- 規格驗證
- 檢測制程干擾
- 量化系統變化造成的影響
- 精確測量粒徑
- Facility Net 軟件的數據管理系統具有全面的數據儲存、管理、報告、報警等功能
- 可靠性高
- 無源腔設計,無需頻繁維修保養
- 無需流體即可完成監測,這是其它系統所不具備的優點
- 以管線氣壓采集加壓惰性氣體樣本
應用
- 氣體分配系統規則達標
- 監測制程氣體