壓電角位臺SGO-60.5采用壓電驅動技術實現納米壓電角定位,旋轉中心為60.5 mm,負載為5N(500g),尺寸為50x50x17mm^3,勝任任何需要高穩定性和高角度精度的應用。
壓電角位臺SGO-60.5采用高精度交叉滾子軸承,具有*的角度精度和運動分辨率,結構緊湊,堅固耐用,非常適合微定位或納米定位應用。
壓電角位臺SGO-60.5具有良好的拓展和堆疊能力,可以與其它納米壓電位移臺搭建成復雜壓電定位系統,與其它半徑相同的角位臺聯合可以搭建具有共同旋轉中心的歐拉角位臺系統。
壓電角位臺SGO-60.5配備精確控制器,可以與集成定位傳感器一起使用,用于高真空和超高真空環境。
壓電角位臺SGO-60.5規格參數
-S閉環：壓電角位臺SGO-60.5采用高精度交叉滾子軸承,具有*的角度精度和運動分辨率,結構緊湊,堅固耐用,非常適合微定位或納米定位應用。
壓電角位臺SGO-60.5具有良好的拓展和堆疊能力,可以與其它納米壓電位移臺搭建成復雜壓電定位系統,與其它半徑相同的角位臺聯合可以搭建具有共同旋轉中心的歐拉角位臺系統。
壓電角位臺SGO-60.5配備精確控制器,可以與集成定位傳感器一起使用,用于高真空和超高真空環境。
壓電角位臺SGO-60.5規格參數
行程：±5°
步進：0.7–7μrad
掃描范圍：10.5μrad
掃描分辨率：0.01μrad
速度：4°/s
頻率：18.5 kHz
阻尼力Mb:20 N cm
垂直載荷Fn:5N
橫向扭矩Mr:1.2 N m
尺寸：50 x 50 x 17 mm^3
旋轉中心：60.5 mm
重量：≈140g
傳感器分辨率：0.03 µrad
-L閉環
傳感器分辨率：0.12 µrad
閉環分辨率：1.5urad(H)CU, 0.12urad MCS
壓電角位臺SGO-60.5可選項目
壓電角位臺SGO-60.5應用案例鋼底座（-ST）
延長壽命（-Z）
-高真空（10^-6mBar），超高真空UHV/-UHVT（10^-11mBar）
我們采用壓電角位臺SGO-60.5搭建了5D微操縱器,采用SLC-17納米線性定位器搭建XYZ三位納米定位臺系統,再用2套壓電角位臺SGO-60.5用于納米旋轉定位，Z軸方向的線性定位器加載了恒力彈簧以勝任持久性大負載。這套5D微操縱器可用于高真空和超高真空環境,廣泛用于微納操作,納米操縱,SEM定位等應用。
