這款真空電動三角反射鏡座采用三個電動控制的支撐腿調整鏡片姿態,可作為閉環裝置使用,裝配另外的納米和微米傳感器精確定位。
真空電動三角反射鏡座系列其它調整架可用于0.5英寸、1英寸、1.5英寸、2英寸激光反射鏡,也可根據用戶要求定制其它尺寸規格和配置。
所有的真空電動三角反射鏡座都使用高真空或超高真空環境,此外,我們還提供特殊的非磁性反射鏡調整架供用戶選擇。
分辨率:<0.1urad,<1nm
行程范圍:<10mm,± 25.0 °
旋轉:Φ, Θ: ± 25.0 °
真空度:10^-11mrad
阻尼力MB:2.1 Ncm
正向力:1.5 N
軸向力 FXY: 2.5 N
掃描速度:30 °/s,10 mm/s