
◆去有機(jī)物(post etch clean)
◆去光刻膠
◆襯底清洗
◆高壓剝離
◆凸塊Flux removal
技術(shù)參數(shù):
Rhetech為半導(dǎo)體濕法工藝設(shè)備制造商Semitool公司的全資子公司,專業(yè)銷售翻新的SEMITOOL SST(去膠機(jī)),提供全面的保固和、升級(jí)和備件服務(wù),并且提供專業(yè)制程和應(yīng)用培訓(xùn)與咨詢,在半導(dǎo)體和砷化鎵領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用和客戶的好評(píng)。
主要特點(diǎn):
◆SEMITOOL的噴霧式技術(shù);
◆可靈活選擇多種藥液的輸送方式;
◆占地面積小,節(jié)省凈化間空間;高產(chǎn)能;
◆工藝的高穩(wěn)定性和可重復(fù)性;
◆半自動(dòng)全封閉工藝腔帶給您安全的操作環(huán)境;
◆藥液可循環(huán)回收利用以節(jié)省運(yùn)行成本。