真空電動平移臺每一毫米有1000個微步,步進(jìn)電機(jī)分辨率高達(dá)200個步進(jìn),步進(jìn)電機(jī)采用可編程控制器精密驅(qū)動,可采用1,1/2,1/4,1/8 步進(jìn)模式驅(qū)動電機(jī)。
真空電動平移臺使用連接適配板2CP167V-100 和角支架2AB167V-100,平移臺8MT167V-100可以組建XYZ三維真空電動平移臺系統(tǒng)。
真空電動平移臺可單獨(dú)訂購高度真空兼容Sub-D接口連接器,9或15針連接器。連接器是玻璃制成,里面填充的是聚合物,外殼是不銹鋼,適用于高度真空度10^-6毫巴和溫度高達(dá)110°C的環(huán)境。
這款真空平移臺具有對應(yīng)的非真空版本的同樣電動平移臺。
真空電動平移臺采用適合真空環(huán)境的接口
Sub-D連接器的規(guī)格:
真空:10^-6毫巴
主體材料:DEP
溫度范圍:-55°C至110°C
針材質(zhì):鍍金銅合金
真空電動平移臺規(guī)格
行程距離 100 mm
分辨率
整步 1µm
1/8步 0.125µm
絲杠螺距 0.5 mm
減速比 2.5/1
速度 2mm/s
載重能力
水平 6kg
垂直 1.5kg
電機(jī) VSS42
真空兼容電纜 2米長
連接器 HDB15(M)
限位開關(guān) 2個機(jī)械開關(guān)
重量 1.6kg