可以單獨(dú)訂購(gòu)高度真空兼容Sub-D接口,9或15針連接器。連接器是玻璃制成,里面填充的是聚合物,外殼是不銹鋼,適用于高度真空10^-6毫巴和溫度高達(dá)110°C的環(huán)境。
高度真空Sub-D連接器的規(guī)格:
真空:10^-6毫巴
主體材料:DEP
溫度范圍:- 55°C至110°C
針材質(zhì):鍍金銅合金
也提供其他尺寸大小的連接器和真空密封裝置。
真空致動(dòng)螺桿規(guī)格
分辨率
在全步進(jìn)模式的分辨率 1.25µm
在1 / 8步進(jìn)模式的分辨率 0.156µm
絲杠螺距 0.25 mm
速度 2.5 mm/s
標(biāo)值力 30 N
電機(jī) VSS43
真空兼容電纜 集成,2m
連接器 HDB15(M)
控制器推薦 8SMC4-USB 8SMC3-RS232
限位開關(guān) 2個(gè),機(jī)械開關(guān)
極性轉(zhuǎn)換開關(guān) 推動(dòng)“關(guān)閉”