XF3807T是SOS硅-藍寶石高溫差壓傳感器,其工藝:
1.利用硅薄膜的晶體結構和藍寶石相類似的特點,在藍寶石基片表面外延生長一層硅單晶薄膜;
2. 通過固態微電子技術,對硅薄膜層進行光刻,形成惠斯登電橋的4個橋臂;
3.藍寶石膜片是優秀的彈性元件,和鈦結合一起,能夠獲得-55°C~400℃范圍內良好的彈性應變特性;
4. 藍寶石基底是絕緣性材料,在-55°C-520°C范圍,不隨溫度升高而變化,為高溫傳感器提供*的電氣絕緣;
5.根據單晶硅壓阻效應原理,連接的單晶硅應變計,實現力與電信號的轉換,制作出XF3807T工作在-55℃~350℃的硅-藍寶石壓力/差壓傳感器。
同擴散硅壓力傳感器相比較由于藍寶石(AL2O3)基底本身不存在PN結,沒有結效應,因此,SOS藍寶石傳感器具有很好高溫電絕緣性能。
同箔電阻應變傳感器相比較XF3807T壓力敏感元件是一個生長在雙層藍寶石-鈦薄膜上的單晶硅電阻應變計,因此,在高溫下XF3807T藍寶石傳感器具有很好應變特性和很好重復性。
又因為單晶硅電阻應變計是通過異質外延方法和藍寶石膜片連接,所以XF3807T高溫傳感器幾乎沒有滯后和衰減影響,沒有中間傳導介質硅油。
又因為單晶硅電阻應變元件是通過固態微電子方法集成在一起,所以XF3807T高溫傳感器精度高,穩定性好。
再次,藍寶石具有化學惰性,的光學和抗輻射特性(如γ射線等),所以XF3807T高溫傳感器可以使用在強輻射環境,如原子能電站、航空航天等場合。
XF3807T硅-藍寶石壓力/差壓傳感器的之處:在藍寶石基片上外延摻硅半導體電阻應變計。
.測量生產流程中高溫液體、氣體和水蒸汽等差壓值變化。
.量程:0 ~ 10KPa ……40 MPa
.供電方式:18-36VDC、標準24VDC
.輸出方式:4-20mA 、0-5V、1-5V
.0-5V輸出具有精度補償功能。
.連接方式:陽螺紋固定,金屬擠壓式密封。
.適用溫度:300℃,自然冷卻法。
.耐磨損、抗沖擊、抗輻射、耐腐蝕、安裝方便。
.單端耐壓值 =(3~10)倍工作差壓值。
.芯體為全鈦合金本體,10KHz的頻響。
.的光學和抗輻射特性(如γ射線等)。
.進口俄羅斯藍寶石,體積小,簡潔、長期穩定性好。