標準量程（N2）：0～5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM；
0～1、2、3、5、10、20、30SLM
準精度：±1％F.S； 重復精度：±0.2F.S
響應時間：電特性 ＜10sec 氣特性＜1～4sec
線性：±（0.5～1）％F.S 工作壓差范圍：0.05～0.3MPa
耐壓：3，10MPa； 工作環境溫度：5～45℃
輸入輸出信號電壓：0～+5.00V
電源：+15V500mA、-15V500mA輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA
電連接器：D14pin
外形尺寸：130＊28＊121mm
重量：約1.0kg
接口尺寸：Swagelok :Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞....
VCR接頭：Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........
特 點
可靠性高 重復性好 測量精度高 壓損小
無活動部件 量程比寬 響應速度快 無須溫壓補償
應 用
工業管道中氣體質量流量測量
煙囪排出的煙氣流速測量
煅燒爐煙道氣流量測量
燃氣過程中空氣流量測量
壓縮空氣流量測量
半道體芯片制造過程中氣體流量測量
污水處理中氣體流量測量
加熱通風和空調系統中的氣體流量測量
熔劑回收系統氣體流量測量
燃燒鍋爐中燃燒氣體流量測量
天然氣、火炬氣、氫氣等氣體流量測量
啤酒生產過程中二氧化碳氣體流量測量
水泥、卷煙、玻璃廠生產過程中氣體質量流量測量
