設備概況
設備名稱:有機清洗臺
設備型號:KSJ -T-OGW-B
整機尺寸(參考):
約1800mm(L)×1100mm(W)×2000mm(H);
被清洗工件規格:4〞 -6 〞硅片 25 PCS/籃
(145mm*125mm*120mm) ;
產能:25片/批;
節拍 :0~99min 可調 ;
設備類型:半自動;
設備特點
1.骨架:國產優質SUS304骨架;
2.外殼:2mm厚優質SUS304鏡面板制作;
3.有機槽/超聲槽/IPA槽:采用優質2mm厚SUS316L+電解拋光處理;
4.QDR/DIW槽:德國進口10mm PP-N板熱熔焊接而成;
5.管路:管路位于機臺下/后部,管道采用CL-PVC和PFA管路相互配合使用;
6.排風:根據流體學原理設計位于機臺后上部,并配有導流和風量調節裝置;
7.工作照明:機臺頂部配防腐防爆照明;
8.DI/N2 GUN:設備配PFA可伸縮的N2 Gun和DIW Gun各1把,分置于工作設備左側