小管型熱式氣體質量流量計
0.502
1.235
0.5050
07
CCl4
0.1297
6.86
0.3052
08
四氟化碳 CF4
0.1659
3.9636
0.4255
09
甲烷 CH4
0.5318
0.715
0.7147
10
乙炔 C2H2
0.4049
1.162
0.5775
11
乙烯 C2H4
0.3658
1.251
0.5944
12
乙烷 C2H6
0.4241
1.342
0.4781
13
丙炔 C3H4
0.3633
1.787
0.4185
14
丙烯 C3H6
0.3659
1.877
0.3956
15
丙烷 C3H8
0.399
1.967
0.3459
16
丁炔 C4H6
0.3515
2.413
0.3201
17
丁烯 C4H8
0.3723
2.503
0.2923
18
丁烷 C4H10
0.413
2.593
0.2535
19
戊烷 C5H12
0.3916
3.219
0.2157
20
甲醇 CH3OH
0.3277
1.43
0.5805
21
乙醇 C2H6O
0.3398
2.055
0.3897
22
三氯乙烷 C3H3Cl3
0.1654
5.95
0.2763
23
一氧化碳 CO
0.2488
1.25
0.9940
24
二氧化碳 CO2
0.2017
1.964
0.7326
25
C2N2
0.2608
2.322
0.4493
26
氯氣 Cl2
0.1145
3.163.
0.8529
27
氘氣 D2
1.7325
0.1798
0.9921
28
氟氣 F2
0.197
1.695
0.9255
29
四氯化鍺 GeCl4
0.1072
9.565
0.2654
30
鍺烷 GeH4
0.1911
1.627
0.9940
34
氟化氫 HF
0.3482
0.893
0.9940
35
碘化氫 HI
0.0545
5.707
0.9930
36
硫化氫 H2S
0.2278
1.52
0.8390
37
氦氣 He
1.2418
0.1786
1.4066
38
氪氣 Kr
0..0593
3.739
1.4066
39
氮氣 N2
0.2486
1.25
0.9940
40
氖氣 Ne
0.2464
0.9
1.4066
41
氨氣 NH3
0.5005
0.76
0.7147
42
一氧化氮 NO
0.2378
1.339
0.9702
43
二氧化氮 NO2
0.1923
2.052
0.7366
44
一氧化二氮 N2O
0.2098
1.964
0.7048
45
氧氣 O2
0.2196
1.427
0.9861
46
PCI 3
0.1247
6.127
0.3559
47
磷烷 PH3
0.261
1.517
0.6869
48
五氟化磷 PF5
0.1611
5.62
0.3002
49
三氯氧磷 POCI3
0.1324
6.845
0.3002
50
四氯化硅 SiCI4
0.127
7.5847
0.2823
51
四氟化硅 SiF4
0.1692
4.643
0.3817
52
硅烷 SiH4
0.3189
1.433
0.5954
53
二氯氫硅 SiH2CI2
0.1472
4.506
0.4095
54
三氯氫硅 SiHCI3
0.1332
6.043
0.3380
55
六氟化硫 SF6
0.1588
6.516
0.2624
56
二氧化硫 SO2
0.1489
2.858
0.6829
57
四氯化鈦 TiCI4
0.1572
8.465
0.2048
58
六氟化鎢 WF6
0.0956
13.29
0.2137
59
氙氣 Xe
0.0379
5.858
1.4066
