| 品牌 | PANALYTICAL/帕納科 |
|---|
高分辯衍射儀儀器簡介：
X'Pert PRO MRD/XL是高級半導(dǎo)體材料的標(biāo)準(zhǔn)裝備，用于： 高級材料科學(xué)和納米技術(shù)，半導(dǎo)體材料研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制，可以適用各種應(yīng)用，尤其適合薄膜分析，例如： 搖擺曲線分析和倒易空間Mapping， 反射率和薄膜相分析，殘余應(yīng)力和織構(gòu)分析， X'Pert PRO MRD/ XL 滿足半導(dǎo)體、LED、薄膜和高級工業(yè)材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以滿足直徑達(dá) 300 mm的晶片分析，并有精密的自動晶片裝載選擇；XL成為薄膜生產(chǎn)發(fā)展的*的分析手段，LED的業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)。
高分辯衍射儀可以適用各種應(yīng)用，尤其適合薄膜分析，例如：
· 振動曲線分析和交互空間圖
· 反射儀和薄膜相分析
· 殘余應(yīng)力和織構(gòu)分析
同已經(jīng)證明的標(biāo)準(zhǔn)版本系統(tǒng)一樣，還有許多專門的版本：
· X'Pert PRO MRD平面衍射系統(tǒng)，可以測量與樣品表面垂直的晶格衍射
· X'Pert PRO Extended MRD 允許裝備 X射線鏡像和在線高分辨單色器，增強(qiáng)入射光束的強(qiáng)度。
· X'Pert PRO MRD XL 滿足半導(dǎo)體，薄膜和高級工業(yè)材料的所有高分辨XRD分析需要。
技術(shù)參數(shù)：
1，功率：3kW
2，測角儀重現(xiàn)性：0.0001度
3，測角儀類型：T-2T
4，五維樣品臺
