Gas-100在線四極質譜殘余氣體分析系統

一. 應用：

n 真空科學工業

n 航空航天工業

n 電子工業

n 環境科學

n 表面科學

n 痕量氣體分析

n 在線工業檢測

n 氣體檢漏

n 催化表征

二. 主要參數及性能指標：

n 質量范圍： 1-200amu

n 靈敏度：5×10-4法拉第杯

n 分辨率：≤1amu，10%峰高

n 響應時間：ms 級

n 檢出限：≤10ppm（FC）

n 分析系統極限真空度: 2×10-7mbar

n 小可檢分壓強：5×10-11mbar（N2）法拉第杯

n 分析系統工作真空度: 5×10-4mbar

n 允許烘烤溫度：＜200℃

n 大取樣壓力：1個大氣壓

n 大氣體監測種類：12

n 啟動時間 ：5分鐘

n 大環境溫度 ： 35 °C

n 功率：220W

三. 結構簡介

Gas-100在線四極質譜殘余氣體分析系統,四極質譜,分子泵,真空計，前級泵,取樣微調閥，旁抽管路和電磁閥，計算機組成。殘余氣體分析質譜儀裝入真空系統中，*擴展了四極質譜的應用范圍，可以一機多用，既可作殘余氣體分析儀，又可作真空系統的檢漏儀，可以使用多種氣體作示漏氣體。

采用抗氧化敷釷銥絲雙燈絲和法拉第接收杯四極質譜, 通過RS232接入筆記本電腦, 由的控制軟件分析, 可進行全譜、棒譜、多離子譜的分析，在友好的WINDOWS界面下操作，給出可靠的分析測試結果及明晰的用戶報告，完成對氣體的分壓測量和成份分析
取樣系統采用進口的毛細管和電磁閥組成, 分析系統可同過閥門直接接入工藝真空室采樣,或者直接對大氣取樣。可在線原位分析監測真空容器的殘余氣體，又可檢測濺射鍍膜或者各種反應室內工藝氣體成分, 定性或定量分析氣體的分壓強, 優化工藝過程參數, 提高產品質量, 并可對真空系統進行檢漏. 儀器具有完備的功能，可做氣體分析及有機物監測，可以實現和氣體相關的在線或離線氣體成分, 定性或定量分析。

四、儀器特點

n 動態、連續取樣，實時、在線氣體分析；響應速度快，數據分析功能強大。

n 儀器集成化、自動化程度高，體積小，抗*力強。

n 雙燈絲，并配有燈絲保護裝置，的延長燈絲的使用壽命。

n 機身附帶兩級真空泵，應用范圍可從高壓到超高真空，根據用戶需求組合配置。

n 精加工的四極桿質量分析器和高精度安裝調試技術保證近軸電場穩定。

n 系統內部合理優化的散熱流路設計。

n 分子泵和質量分析器采用不同的減震措施，確保儀器運行的高可靠性。

n 取樣范圍從常壓到超高真空。

n 軟件功能強大，采用Winsow操作界面，簡單易學。

五、主要配置清單