超高精度CNC三坐標測量機LEGEX12128
采用FEM結構分析模擬的*測試保證了幾何運動精度，使負荷及其它變量波動造成的誤差降至小。另外，其他多種技術如抗振測量等用于驅動單元結構中，實現了超高精度。
• LEGEX系列為超高精度CNC三坐標測量機，具有世界上精度水平，對所有可能產生誤差的因素進行嚴格分析并消除或地降低其影響。超高精度CNC三坐標測量機LEGEX12128
• 固定橋結構和精密空氣軸承在高剛性導軌上運行確保了良好的運動穩定性和超高幾何精度。采用FEM結構分析模擬的*測試保證了幾何運動精度，使負荷及其它變量波動造成的誤差降至小。另外，其他多種技術如抗振測量等用于驅動單元結構中，實現了超高精度。
• 配備有三豐超高精度標尺、熱膨脹系數幾乎為零的超高精度微晶玻璃尺以及高分辨力、高性能的反射型線性編碼器。為其完美性能提供了的位置檢測功能。超高精度CNC三坐標測量機LEGEX12128
• LEGEX高精度系列三坐標測量機配有溫度補償功能，因此設置環境不需要恒溫控制室，就可以在18-22ºC的溫度范圍內保證主機精度。
• 提供豐富的選件，包括觸發式和非觸發式測頭，數據處理部等支持超高精度測量，如要求高尺寸精度的齒輪、軸承、透鏡、硬模或滾動轉子。
規格
| 項目 | 型號 | LEGEX 574 | LEGEX 774 | LEGEX 776 | LEGEX 9106 | LEGEX 12128 |
| 測量范圍 | X軸 | 500mm | 700mm | 700mm | 900mm | 1200mm |
| Y軸 | 700mm | 700mm | 700mm | 1000mm | 1200mm | |
| Z軸 | 450mm | 450mm | 600mm | 600mm | 800mm | |
| 測量方法 | 超高精度線性編碼器 | |||||
大測量速度 | 200mm/s | |||||
| 大加速度 | 1000mm/s2 | |||||
| 分辨力 | 0.00001mm | |||||
精度 (JIS B7440-2)*1 (2003) | MPEE 【L:測量長度 (mm)】 | (0.35+L/1000)μm | (0.6+1.5L/1000) μm | |||
| MPEP | 0.45μm | 0.6μm | ||||
| MPETHP | 1.4μm | 1.8μm | ||||
| 導向系統 | 各軸均采用氣浮軸承 | |||||
| 工作臺 | 材料 | 鑄鐵*2 | ||||
| 尺寸 | 550×750mm | 750×750mm | 750×750mm | 950×1050mm | 1250×1250mm | |
| 緊固用螺釘孔 | M8x1.25mm (工件固定用) | |||||
| 大測量高度 | 706mm | 696mm | 867mm | 861mm | 1056mm | |
| 大負載 | 200kg | 500kg | 500kg | 800kg | 1000kg | |
| 重量 | 3900kg | 5000kg | 5100kg | 6500kg | 10500kg | |
| 空氣供給 | 氣壓 | 0.4MPa*3 | 0.5MPa*4 | 0.4MPa*3 | ||
| 消耗量 | 120L/min*5 (正常情況下) | |||||
*1 使用測頭: MPP310Q。
可確保精度的溫度范圍: 18 - 22°C, 溫度變化: 0.5K/h, 溫度梯度: 1K/m。
*2 也可選擇陶瓷涂層。
*3 需要0.5MPa-0.9MPa氣壓。
*4 需要0.55MPa-0.9MPa氣壓。
*5 需要160L/min以上氣壓。
