VOCs有機氣體催化處理焚燒設備周圍設有有補氧風孔，能夠使VOCs很好的與空氣接觸，柴油機儲槽內的輕柴油，借助管路傳至燃燒器，由系統自動點火點燃，啟動VOCs傳送系統，VOCs通過燒咀燃燒，使其快速形成氧化反應，燃燒根據三T標準（溫度，時長，渦流）設計，VOCs進到焚燒爐后，燃燒火苗以2-3米/秒的速度沿爐機體主燃燒筒轉動，同時以2-3米/秒的速度沿爐殼做軸向運作，增加了VOCs在高溫火苗區的停留的時間，強壓空氣速度2-3米/秒構成交錯的密閉火力網。
焚燒爐是一個內部襯有高鋁質耐熱材料的爐子使火苗渦流能夠充足燃燒，再經噴淋吸收塔清除煙塵中的有毒有害成份，后經煙筒排放空氣中。
1、電暈放電，媒介阻擋自放電，頻射自放電，微波自放電，而科學研究活躍性的是脈沖電暈放電形成等離子體。
該法的等離子體形成原理與電子束幅照法大致相同，它是在兩個不勻稱的電極間累加1個脈沖電壓。
2、氣體自放電:氣體自放電形成等離子體具體可分下列幾類類型：輝光放電因為脈沖電壓的升高前沿極陡與電子束幅照法對比，該法規避了電子加速器的運用，也不必輻射屏弊，提高了工藝的安全性能和實用價值。
脈沖電暈放電法處理VOC是一個很有前景的類型，與常用工藝對比具備工藝簡單，耗能低，步驟短，操作性好的特性，尤其是在環保節能層面有非常大的潛質，使用區域也較為廣泛，但鑒于它的化學反應環節繁雜。
研究表明遭受很多外在原因的干擾，自放電環節中有可能會形成聚合反應，形成聚合物，并會形成少許不*產物C0等，故此必須更進一步研究改善。
氧化反應可在催化劑表層進行。故此，VOCs處理的空氣氧化法之一的催化氧化法。現如今，催化氧化法運用的催化劑有兩類，即貴金屬催化劑和非貴金屬催化劑。
a、貴金屬催化劑具體包含Pt，Pd等，兩者以細顆粒物類型依附在催化劑載體上，而催化劑載體一般是金屬或陶瓷蜂窩，或散裝填充料。
b、非貴金屬催化劑主要是由過渡元素金屬氧化物，諸如MnO2，與黏合劑通過相應配比混和，之后做成的催化劑。
