東京精密+表面粗糙度測量機

表面粗糙度測量機SURFCOM NEX001

線性馬達驅動部帶動的具有優秀的可靠的性能的表面粗糙度測量用的傳感器（傳感器）

1000μm量程的粗糙度測量用傳感器 比以往的800μm量程的傳感器增加了25%的量程，Z方向量程達 到了1000μm。

搭載了新開發的可對應高倍率、寬范圍測量的，設計簡潔的傳感器。 外徑14 mm，測量范圍1000 μm，測量倍率能達到50 萬倍。

非接觸驅動的有效性

線性馬達也適合往復運動，可準確定位并進行高速測量。傳統的控制是組合了電機、 編碼、 線性光柵尺的滾珠絲杠驅動控制，因此特別是對于三維的表面性狀評價等，由于準確定位造成往復運動的控制響應性出現了極限。線性驅動基本上是僅靠線性馬達和標尺的簡單控制，因此可進行高響應性高精度的定位。

輔助行走距離

在不想浪費測量距離時或者只有極短的測量長度時非常有效。傳統的測量機考慮到間隙和電機的啟動特性，在進行數據采樣前必須要有輔助行走的距離。東京精密著眼于線性馬達的高響應性和無背隙，去除了輔助行走距離。

東京精密+表面粗糙度測量機

搭載了新開發的可對應高倍率、寬范圍測量的，設計簡潔的傳感器。 外徑14 mm，測量范圍1000 μm，測量倍率能達到50 萬倍。