無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設計之房間。
無塵室概述

無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

如表所示，每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了無塵標準的*。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
控管項目

1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

⒉ 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

⒊ 溫度和濕度之控制。

⒋ 壓力之調(diào)節(jié)。

⒌ 有害氣體之排除。

⒍ 結構物與隔間之氣密性。

⒎ 靜電之防制。

⒏ 電磁干擾預防。

⒐ 安全因素之考慮。

⒑ 節(jié)能之考量。

⒒照度的的調(diào)節(jié)

無塵室設備

風淋室

風淋室系列產(chǎn)品是一種通用性較強的局部凈化設備，安裝于潔凈室與非潔凈室之間。當人與貨物要進入潔凈區(qū)時需經(jīng)風淋室吹淋，其吹出的潔凈空氣可去除人與貨物所攜帶的塵埃，能有效的阻斷或減少塵源進入潔凈區(qū)。風淋室/貨淋室的前后兩道門為電子互鎖，又可起到氣閘的作用，阻止未凈化的空氣進入潔凈區(qū)域。

FFU

FFU可模塊化連接使用，使得FFU廣泛應用于無塵室、無塵操作臺、無塵生產(chǎn)線、組裝式無塵室和局部百級等應用場合。FFU設有初、高效兩級過濾網(wǎng)。風機從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45M/S±20%的風速勻速送出。它為不同尺寸大小，不同潔凈度等級的潔凈室、微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠房式改造翻新中，即可提高潔凈度級別，降低噪音和振動，也可大大降低造價，安裝維護方便，是潔凈環(huán)境的理想部件。

FFU特點: 1.FFU外形尺寸(mm):1175*575*320，噪聲52~56分貝;2.FFU箱體和高效過濾器采用分體式設計,安裝,更換高效更方便; 3.風機采用德國emb直驅(qū)式離心風機或者國產(chǎn)鋁葉輪離心風機,工作時間長達5萬小時以上; 4.并具有節(jié)能、計算機集中控制、運行穩(wěn)定、噪聲低、數(shù)字化調(diào)整等特性; 5.FFU采用*的風道風速均勻，整個出風面以0.45M/S風速均勻送出。 6.殼體可選用鏡面不銹鋼、覆鋁鋅板、冷板靜電噴塑制做美觀大方; FFU出廠前均按美國聯(lián)邦標準(209E)用激光粒子計數(shù)器逐臺掃描檢測，確保質(zhì)量;FFU適用于10~1000級無塵車間，便于整體運行集中控制; FFU適用于半導體、電子、平板顯示器和磁盤驅(qū)動器的廠家及光學、生物工業(yè)及其它對空氣中污染有嚴格控制要求的地方。以*的優(yōu)勢合理的價格迅速占領市場。 高度低，系統(tǒng)設計時可節(jié)省氣室空間。輕量化結構設計，可符合各廠家的 Grid 系統(tǒng)安裝，更可依 Grid 系統(tǒng)，變更 FFU 結構尺寸設計。內(nèi)部裝置擴散板.風壓擴散均勻，出風面風速平均穩(wěn)定。金屬結構順風道內(nèi)膽，*老化.杜絕二次污染產(chǎn)生，表面光滑，風阻低.隔音效果優(yōu)良。特殊入風口，風道設計，降低壓損與噪音的產(chǎn)生。馬達效率高，系統(tǒng)消耗電流低，節(jié)省能源成本。單相馬達，提供三段式調(diào)速，可依實際狀況調(diào)高或降低風速與風量。 1. 風機采用進口高效離心風機，具有長壽命、低噪聲、免維護、震動小、可無級調(diào)速等特性，風機質(zhì)量可靠，工作壽命長達5萬小時或以上。 2. 特別適合于組裝成超凈生產(chǎn)線，可根據(jù)工藝需要布置為單臺使用，也可將多臺串聯(lián)形成100級流水裝配線。 3. 殼體結構選用不銹鋼、鋁合金、覆鋁鋅板、冷軋鋼板材料制造，重量輕、抗腐蝕、防銹、美觀大方。 4. 產(chǎn)品出廠前均按美國聯(lián)邦標準209E，METOME塵埃粒子計數(shù)器逐臺掃描檢測，確保質(zhì)量。 溫州升旭凈化工程有限公司專業(yè)承接空氣凈化工程、手術室凈化、GMP車間凈化、實驗室凈化、無菌室凈化、食品車間凈化、*凈化、廠房凈化、藥品車間等服務。

無塵室構成
 

無塵室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質(zhì)良好的無塵室:

⑴天花板系統(tǒng)

包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

⑵空調(diào)系統(tǒng)

包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。

⑶隔墻板(Partitional wall)

包括窗戶、門。

⑷地板

包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。

⑸照明器具

包括日光燈、黃色燈管等。

⑹無塵室之建筑主體構造

一般是用鋼筋或*，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件:

A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕;

B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子;

C.吸濕性小;

D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高;

維護管理

潔凈技術在近20年發(fā)展迅速，各種規(guī)模、不同等級的無塵室在電子、精密機械、航天、醫(yī)療、食品、化妝品、生物制藥等行業(yè)發(fā)揮著日益重要的作用，為提高產(chǎn)品質(zhì)量、開發(fā)*做出了重要貢獻。無塵室如果設計是正確、合理的，施工建造是高質(zhì)量的，但在運行維護管理中不科學、不嚴格、必將使無塵室的空氣潔凈度逐漸下降，造成實際生產(chǎn)環(huán)境中的多項指標偏離規(guī)定要求，從而產(chǎn)品質(zhì)量下降，甚至不合格。

無塵室人員管理，制定專職管理人員的職責、無塵室人員的準入制度、人員培訓教育規(guī)定、進入無塵室人員的"人凈程序"管理。物流管理，物料進入、各類設備進入，以及相關設備、管線的維護管理，應做到不得將微粒、微生物帶入室內(nèi)。潔凈度管理，包括潔凈服采購和制作、潔凈服使用管理、潔凈服的清洗規(guī)定等。清掃、滅菌管理，對于無塵室內(nèi)的各種設備和設施的清掃滅菌方法，周期和檢查作明確的規(guī)定，防止、消除無塵室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留及繁殖。嚴格各類設備、設施的維護管理，制定相應的操作規(guī)程，保證各類設備、設施按要求正常運轉(zhuǎn)，包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、各類水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設備和器具等，以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度級別。

監(jiān)控無塵室在使用過程中正常的運行和維護，應對室內(nèi)的運行狀況及相關設施進行定期檢查。如:在規(guī)定的時間、地點，用粒子計數(shù)器測定控制粒徑的微粒數(shù);在規(guī)定時間、地點測定沉降菌落數(shù)或浮游菌數(shù)等;溫濕度方面，在規(guī)定的時間、地點測定和核對連續(xù)測定記錄;測量凈化空調(diào)系統(tǒng)的高效過濾器的壓差，檢查空氣過濾器是否堵塞、安裝的密封墊是否完好或過濾器損壞引起的泄露情況，使用風速計檢查局部排風裝置的風量;使用噪聲測定儀在規(guī)定的時間、地點測定噪聲值;檢查送風機軸承、送風機的運行狀態(tài)、塵埃和污物，以及送、回風管道內(nèi)部和送風口的腐蝕及污垢等情況;無塵室內(nèi)是否保值清潔、頂棚和墻面是否有裂縫或腐蝕;涂敷狀態(tài)、機械和設備類有沒有異常現(xiàn)象等，必須逐個列表檢查，不能遺漏任何一項;使用照度表在規(guī)定的時間、地點測定照度值;使用壓差表測定無塵室內(nèi)外的靜壓差。

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