向壓電偏轉鏡 3/6/9/12.5mrad
壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動元件，內部采用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構設計，外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現單軸或多軸角度偏轉運動，補償量小，偏轉鏡具有較好的運動精度和高的穩定性，通過內置高精度傳感器進行閉環控制，實現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
向壓電偏轉鏡 3/6/9/12.5mrad壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動元件，內部采用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構設計，外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現單軸或多軸角度偏轉運動，補償量小，偏轉鏡具有較好的運動精度和高的穩定性，通過內置高精度傳感器進行閉環控制，實現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P33壓電偏轉鏡是具有快速響應且體積緊湊等特點的偏轉平臺，提供頂端面的高精度角度運動，與其他執行器相比，柔性鉸鏈導向的壓電偏轉平臺可提供高的加速度，使階躍響應時間在亞毫秒范圍。閉環與開環版本具有6個不同的偏轉范圍，可達25mrad的光束偏轉。
向壓電偏轉鏡 3/6/9/12.5mrad
特性
• θx,θy二維偏轉，偏轉角度12.5mrad • 閉環定位精度高 • 分辨率高 • 溫度穩定性高 • 亞毫秒響應時間
| 高動態、閉環版本精度高 | 結構原理 | ||
| P33系列壓電偏轉鏡采用了無摩擦、柔性鉸鏈導向結構設計，絕緣壓電陶瓷驅動，實現偏轉范圍12.5mrad，提供高的加速度，快速響應達毫秒量級或快。 在機械結構的合適位置采用測量的應變傳感器來得到高穩定性及定位精度，他們提供了較高的帶寬并向控制器發送定位反饋信號，傳感器以橋式配置連接以消除熱漂移從 而優質的穩定性。 可帶載鏡片直徑40mm，產品已成功應用于衛星激光通信等領域。 P33系列壓電偏轉鏡的固定方式分底部固定及腰部固定，詳見尺寸圖。 | 偏轉鏡（兩軸）是基于4個壓電陶瓷結構設計而成，每軸采用兩個壓電陶瓷，以推拉模式形成偏擺運動，采用橋式連接電路控制。四個執行機構（壓電促動器）以90°角平分放置，是成對的差異控制分布形式。 通過差分結構的設計可以在大范圍的溫度變化下保持良好的角度穩定性，這樣就可以保證溫度的變化僅能影響到平臺的垂直方向定位，而對角度定位則沒有影響，在閉環下，可以保證系統的線性度和分辨率。 |
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驅動控制
P33壓電偏轉臺θxθy兩軸采用90。相差輸入，通過控制電壓的大小，對不同的光路距離，可進行一定范圍的圓形范圍掃描，如下右圖所示。
應用實例
激光通信技術由于其通信容量大、傳輸距離遠、保密性好、抗干 擾能力強等特點受到世界各國的重視，因為建立空天地海一體化通信網絡勢在必行，我國在激光通信技術領域已達到高水平，比如衛星激光通信、機載、艦載通信等，芯明天P33壓電偏轉鏡系統已經成功應用于衛星激光通信及機、艦激光通信實驗中。
