晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測量高光潔表面的平面度誤差，為用平面平晶檢驗量塊測量面的平面度誤差。平行平晶的兩個光學測量平面是相互平行的，用于測量兩高光潔表面的平行度誤差，例如千分尺兩測量面的平行度誤差.平晶用光學玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為 45～150毫米。其光學測量平面的平面度誤差為:1級精度的為0.03～0.05微米；2級精度的為0.1微米。常見的長方形平面平晶的有效長度一般為200毫米平行平晶是用于以干涉法測量塊規，以及檢驗塊規、量規、零件密封面、測量儀器及測 平晶量工具量面的研合性平面度的 常用工具。
一、用途：平行平晶是用于以干涉法測量塊規，以及檢驗塊規、量規、零件密封面測量儀器及測量工具量面的研合性和平面度的工具。適用于光學加工廠、廠礦企業計量室、精密加工車間、閥門密封面現場檢測使用，也適用于研究等單位做平面度等檢測。二、主要技術規格：1、平行平晶POF 標準規格尺寸2、平行平晶制成精度：1級3、平行平晶工作面的平面度偏差允許值為： 1級平晶 0.05μm更大尺寸平面平晶平面度偏差允許值，根據國家標準。4、平行平晶工作面的局部偏差允許值為： 0.03μm5、平行平晶測量工作應在室溫2 0℃±3℃條件下保持數小時后進行。
