昆山國華等離子表面改性設備除膠渣

經過30年的發展，等離子體所在高溫等離子體物理實驗及核聚變工程技術研究方面*等離子體物理研究所處于*水平，形成了廣泛的交流與合作，與歐、美、日、俄、澳等近三十個國家和地區建立了穩定合作交流關系，開展多個合作項目，成為“第三世界*開放實驗室“和“世界實驗室聚變研究中心“，是受控熱核聚變計劃ITER中國工作組的重要單位之一。

電介質等離子體刻蝕設備一般使用電容耦合等離子體平行板反應器。在平行電極反應器中，反應離子刻蝕腔體采用了陰極面積小，陽極面積大的不對稱設計，被刻蝕物是被置于面積較小的電極上。在射頻電源所產生的熱運動作用下帶負電的自由電子因質量小、運動速度快，很快到達陰極；而正離子則由于質量大，速度慢不能在相同的時間內到達陰極, 從而使陰極附近形成了帶負電的鞘層。正離子在鞘層的加速下，垂直轟擊硅片表面，加快表面的化學反應及反應生成物的脫離，導致很高的刻蝕速率。離子轟擊也使各向異性刻蝕得以實現等離子體去膠的原理和等離子體刻蝕的原理是*的。不同的是反應氣體的種類和等離子體的激發方式。

主要應用

當光打在金屬表面時，二維光或是等離子體就會被激發。等離子體可以被看作是光子和電子的連接。

可以建立一個混合原則，由光轉變成的等離子體在金屬表面傳播時(該等離子體的波長比原始光波的波長小的多);等離子體能被二維光學儀器(鏡子、波導、透鏡等)處理，等離子體能再次轉變成光或者電信號。

等離子體傳感器和癌癥*:NaomiHalas描述了等離子體怎樣激發小金屬層表面的，米粒形狀的粒子能量很大，做光譜學試驗的光是微分子數量級。等離子體在米粒狀粒子彎曲頂端處等離子體電場比用來激發等離子體的電場強很多，并且它在很大程度上改進了光譜的速率和性。換一種說法，納米數量級的等離子體不僅可以用來鑒定，還可以用來殺死癌細胞。

等離子體顯微鏡:IgorSmolyaninov報道稱他和他的同事能夠拍下來空間分辨率在60nm的物體(如果是實用材料，分辨率能達到30nm)，而用激光激發只能達到515nm。換句話說，用這種分辨率制造的顯微鏡會比平常使用的衍射方法好的多;而且，這更是遠場顯微鏡――光源不用放在少于光波長的范圍內。巨大光極化和光傳輸:GennadyShvets報道當表面的聲子被光激發來制造超棱鏡(用平板材料透鏡化)顯微鏡是紅外線光顯微鏡波長的二十分之一。他和他的同事能拍下樣品表面下的特征，他們稱為"巨大的光傳輸"，照射到表面的光比一般光的波長小的多。

光頻率的未來等離子體電路:NaderEngheta支持等離子體激發的納米粒子能夠被設計成納米數量級的電容，電阻，和感應器(電路中的各種元素)。

電路能夠接收廣播(1010Hz)或者是微波(1012Hz)的頻率，而該電路卻能達到光頻率(1015Hz)。這就能實現小型化以及用納米天線探測光信號的過程，納米波導，納米傳感器，并且還有可能實現納米計算機，納米存儲，納米信號和光分子接口。

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等離子刻蝕機去膠法，去膠氣體為氧氣。其工作原理是將硅片置于真空反應系統中，通入少量氧氣，加1500 V高壓，由高頻信號發生器產生高頻信號，使石英管內形成強的電磁場，使氧氣電離，形成氧離子、活化的氧原子、氧分子和電子等混合物的等離子體的輝光柱。活化氧（活潑的原子態氧）可以迅速地將聚酰亞胺膜氧化成為可揮發性氣體，被機械泵抽走，這樣就把硅片上的聚酰亞胺膜去除了。等離子去膠的優點是去膠操作簡單、去膠效率高、表面干凈光潔、無劃痕、成本低、環保