一、應用領域與用途：
EHZ-HMDS-90系列電腦式HMDS真空烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預處理，增黏劑HMDS涂覆作業(yè)。HMDS真空烘箱適用于在涂膠前對晶片進行預處理，集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過多次預抽真空，充氮加熱循環(huán)進行，既能達到使硅片表面干燥、潔凈的效果，又能夠有效的防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴散，并且可以通過加液系統(tǒng)在硅片表面開成HDMS保護膜，從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比，具有重復性好，節(jié)省藥液，環(huán)保，對人體無害的顯著優(yōu)點；也可用于晶片其它工藝的清洗。
二、技術參數(shù)：
名稱：HMDS電腦式真空烘箱
型號：EHZ-HMDS-90
真空度：<133pa
溫度范圍：50~250℃
溫度分辨率：±0.1℃
控制方式：PLC+觸摸屏（人機交互界面）
內(nèi)部尺寸：W450mm*D450mm*H450mm（可根據(jù)客戶要求訂制）
電源：AC220V 50HZ
功率：2.1KW
三、產(chǎn)品特點：
1.控制界面：采用日本三菱PLC+7'觸摸屏人機交互界面，一鍵啟動，程序化運行，溫度控制系統(tǒng)，抽真空系統(tǒng)，
充氮系統(tǒng)，HMDS注液系統(tǒng)*對接，亦可在操作界面單獨設定操控，實現(xiàn)一集多用。
2.箱體：工作室采用3mm優(yōu)質(zhì)不銹鋼內(nèi)膽，四周圓弧角焊接，表面凈化處理，密閉不漏氣，內(nèi)部自身不產(chǎn)塵，
適用于半導體晶圓，光電等潔凈環(huán)境。
3.外殼：采用SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵
4.密封：門封采用四氟乙烯雙層密封一體成型耐高溫膠條，密封性好，柔軟潔凈無污染。
5.溫度控制系統(tǒng)：
5.1溫控器
采用日本FUJI數(shù)字型智能溫度控制器，控制精度±0.1℃，PID自動演算，自動恒溫，帶溫度傳感器斷線報警，超溫斷加熱，過沖抑制，抗干擾，AT自整定，溫度偏差修正功能，帶8段斜率升溫功能。
5.2 溫度傳感器
采用日制PT100鉑金電阻，不銹鋼鎧裝覆套，精度±0.5%，反應靈敏，抗干擾，耐高溫
6.真空度控制系統(tǒng)
6.1 真空計
采用三菱PLC壓力控制模塊搭配上海產(chǎn)優(yōu)質(zhì)真空壓力變送器，壓力精度1pa
6.2 真空泵
采用上海產(chǎn)優(yōu)質(zhì)雙旋片油泵，真空極限10-3pa,亦可根據(jù)客戶需要配置德國進口真空泵。
7.充氮系統(tǒng)
采用惰性氣體進氣閥，不銹鋼無縫焊接管路，搭配日本進口電磁閥，截止閥，耐壓，無泄漏。臺制氮氣流量計，壓力調(diào)節(jié)閥，可充入氮氣，氬氣等多種惰性氣體，氮氣流量，充入時間可控制。
8.HDMS注液系統(tǒng)
防爆型HDMS制劑瓶，配置不銹鋼藥液管道，電磁回流閥，真空狀態(tài)打開閥門自動注液，安全密封無泄漏。
9.安全保護系統(tǒng)：
配置機臺異常工作狀態(tài)指示報警，安全斷路器，過壓過載保護，控制線路保險管，超溫保護，壓力過載保護，安全急停開關、工作狀態(tài)三色指示燈。所用電器器件及氣動元件均采用國內(nèi)外大廠*，確保安全可靠。
四、選配件：
1.多通道溫度記錄儀：帶RS485通訊端口，曲線模式，多點溫度同屏顯示，可存儲記錄，配置USB接口，插入U盤到處數(shù)據(jù)，亦可配置打印機，打印溫度曲線。
2.壓力記錄儀：彩色液晶屏壓力記錄儀，在線監(jiān)控箱內(nèi)壓力，帶RS485通訊端口，可存儲記錄數(shù)據(jù)，亦可通過軟件連接電腦，導出數(shù)據(jù)。
