閉環三維納米定位臺是專業為納米級別定位位移應用設計的納米定位平臺和納米定位臺系統,分辨率高達50nm,位移行程范圍100mm,并具有零反沖的特性。
閉環三維納米定位臺上海廠家產品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅動;
2.具有開環和閉環兩種規格型號;
3.采用數控、線切割等加工工藝,嚴格保證構結精度;
4.采用計算機有限元仿真分析等現代設計方法設計微動結構;
5.采用*的表面處理工藝,提高了適應不同工作環境的能力;
6.超高性能的開/閉環掃描平臺。
閉環三維納米定位臺上海廠家產品規格
移動距離 100mm
低摩擦力
直線度 5µ
剛度 100 N /µ
分辨率 50 nm
速度 0.001-150 mm/s
重復性 0.1µ
負載 3kg
應用
• 光纖端面檢測 • 納米壓印 • 納米計量 •微操控 • 納米光刻 •干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術/半導體技術 •質量保證測試 •微加工/精密控制
上海納動納米位移技術有限公司(簡稱“納動納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術開發區,是一家專業集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*,專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發,并致力于創新開發壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統的技術解決方案,滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業研發制造商。
上海納動納米位移技術有限貴公司自主研發的產品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉臺、納米級光束偏轉鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯微位移定位系統、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅動/控制器、高精度微位移測量系統等系列產品。