1~3維精密微動壓電平臺內置高性能壓電陶瓷作為驅動元件，采用SGS傳感器閉環(huán)，實現精密高速定位運動，產品結構緊湊，易于集成，采用分離式結構設計，減小了兩自由度之間的耦合，采用高可靠性的壓電陶瓷驅動，具有較高的重復定位精度和納米級位移分辨率，機體材料分鋁合金，嚴格保證構結精度;采用計算機有限元仿真分析等現代設計方法設計微動結構；采用*的表面處理工藝，提高了適應不同工作環(huán)境的能力。
1~3維精密微動壓電平臺典型應用
• 顯微成像 • 納米定位
• 生物技術 • 半導體技術
• 質量保證測試 • 微車削
• 原子力顯微鏡
■ 產品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅動;
2.具有開環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號;
3.采用數控、線切割等加工工藝，嚴格保證構結精度;
4.采用計算機有限元仿真分析等現代設計方法設計微動結構；
5.采用*的表面處理工藝，提高了適應不同工作環(huán)境的能力；
6.超高性能的開/閉環(huán)掃描平臺。
型號說明：
| 產品型號 | PK3L60-080U | PK3L60-080U-S | 公差 | |
| 運動自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | - | |
| 傳感器類型 | - | Strain Gage | - | |
| 標稱行程范圍（@0~+120V） | 80 μm/軸 | 80 μm/軸 | ±20% | |
| 行程范圍（@-20~+150V） | 100 μm/軸 | 100 μm/軸 | ±20% | |
| 分辨率 | 5 nm | 7 nm | typ. | |
| 重復定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
| 線性度 | - | 0.15% F.S. | typ. | |
| 承載能力 | 6 N | 6 N | Max. | |
| 剛度 | 0.8 N/μm | 0.8 N/μm | ±20% | |
| 諧振頻率 | 0g | （X）210 Hz、（Y）210 Hz、 （Z）190 Hz | （X）210 Hz、（Y）210 Hz、 （Z）190 Hz | ±20% |
| 靜電容量 | 1.6 μF/軸 | 1.6 μF/軸 | ±20% | |
| 工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
| 驅動電壓范圍（*）1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
| 線纜長度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | |
| 外形尺寸(LxH) | 60×60×24 mm | 60×60×24 mm | - | |
| 重量 | 180 g | 180 g | ±5% | |
| 本體材質2 | 鋁（B）、鋼 | 鋁（B）、鋼 | ||
