納米級電容位移傳感器是非接觸式位置測量系統。該系統由目標和探針兩個傳感板組成電容器。當電容器之間的距離發生改變時，電容器的電容量就會發生改變，使用適當的控制器就會測出兩個傳感板距離的變化。
工作原理：
納米級電容位移傳感器的原理是利用力學變化使電容器中其中的一個參數發生變化的方法實現信號的變化的。電容位移傳感器由目標和探針兩個傳感板組成電容器。當電容器之間的距離發生改變時，電容器的電容量就會發生改變，使用適當的控制器就會測出兩個傳感板距離的變化。
主要應用
精密制造、計量、形變測量、平臺控制、材料測試、顯微鏡、能動光學、精密光束控制等。
主要特點
l 大行程（11mm）
l 高分辨率（0.1nm）
l 高熱穩定性
l 高直線性（0.02%）
l 零遲滯
l 高頻帶寬度（10KHz）
l 低功耗
l 操作溫度范圍大（-200~+150℃）
技術參數
量 程：初始間隙δo與傳感器電極板do
分 辨 率：0.01nm 零磁滯
非 線 性：±0.25%FSO
頻帶可調：50～5000Hz
靈敏度可調：5～125μm/V
輸出信號：0—±5.0V
零 漂：≤±0.25%FSO
電 源：±15V
體 積：19cm×12cm×8cm
