P36芯明天壓電移相器
壓電移相器壓電偏轉鏡系列壓電偏轉鏡/移相器為θx,θy偏轉/俯仰及Z軸升降臺，臺體中心通孔，產品體積小巧、結構緊湊，可以實現的偏轉范圍為0.8mrad， Z軸直線運動行程為12μm，產品為開環版本，具有*的分辨率及響應速度，是干涉掃描移相的。
P36芯明天壓電移相器特性
• θx,θy二維偏轉及Z向升降運動，zui大偏轉角度0.8mrad，zui大直線位移8μm
• 分辨率高 • 溫度穩定性高 • 亞毫秒響應時間
開環、高動態性、中心通孔 | 頻率負載曲線 | 驅動控制 |
P36壓電偏轉鏡/移相器為多軸俯仰升降臺，產品體積為Ø20×19.5mm，可以實現θx, θy軸0.8mrad的偏轉，Z軸12μm的升降，開環版本具有超高的分辨率及超快的響應速度，三角架結構設計具有超寬的使用溫度范圍。 臺體中心帶有通孔孔徑為Ø10mm，適用于需要透光的應用，如光過濾等。 P36系列壓電偏轉鏡/移相器有兩個版本可選，開環Z向平臺或開環Z向/俯仰/偏轉臺，Z向升降平臺提供頂部環在垂直方向的定位（活塞運動），Z向升降/俯仰/偏轉定位臺可實現垂直（活塞運動）定位及俯仰/偏轉定位。 |
| P36壓電偏轉鏡/移相器內部三支壓電陶瓷促動器并聯連接，提供頂部環在垂直方向的定位（活塞運動）時，只需一個驅動通道。 提供Z向升降/俯仰/偏轉運動時，需三個驅動通道。
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壓電移相器壓電偏轉鏡
運動方式 | 可配套鏡片轉接座 | |
| P36壓電偏轉鏡/移相器可選擇配套鏡片轉接座方便鏡片的安裝與固定。
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應用 • 圖像處理/穩定 • 干涉法 • 激光掃描/光束偏轉 • 激光調諧 • 光過濾/開關 • 光束穩定 • 光束掃描 • 隔行掃描、抖動 • 光束偏擺/穩定 • 光學、激光掃描、通信 • 光學濾波器/開關 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 自適應光學、穩像 • 干涉
產品測試 |
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型號 | 尾綴K-開環 | P36.Z1K | P36.ZT1K | 單位 |
運動自由度 | Z | θx,θy,Z |
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運動和定位 | ||||
θx, θy標稱偏轉角度（0~+120V） | - | 0.55 | mrad±20% | |
Z向直線標稱行程（0~+120V） | 8 | 8 | µm±20% | |
θx, θyzui大偏轉角度（-20~+150V） | - | 0.8 | mrad±20% | |
Z向直線zui大行程（-20~+150V） | 12 | 12 | µm±20% | |
θx,θy偏轉分辨率 | - | 0.02 | µrad | |
Z向直線分辨率 | 0.1 | 0.1 | nm | |
機械性能 | ||||
空載諧振頻率 | 7.5 | θx3.2/θy3.5/Z7.5 | kHz±20% | |
空載階躍時間 | 0.5 | 0.5 | ms±20% | |
空載工作頻率* | 10%行程 | 2000 | 1500 | Hz±20% |
行程 | 200 | 150 | ||
驅動性能 | ||||
靜電容量 | 0.5 | 0.5 | μF/軸±20% | |
其他 | ||||
工作溫度范圍** | -20~80 | -20~80 | °C | |
材質 | 鋼 | 鋼 |
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外形尺寸（外徑-內徑/高） | 20-10/19.5 | 20-10/19.5 | mm | |
重量 | 50 | 80 | g±5% | |
出線長 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | |
電壓連接器*** | LEMO | LEMO |
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